檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Jinn P. Chu".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="濺鍍"
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本研究利用射頻電漿濺鍍沉積氧化銦錫(ITO)薄膜於水溶性高分子polystyrene sulfonate (PSS)上,以翻膜轉印之技術將ITO薄膜轉移至有機高分子材料表面,作為有機光電元件之透明電…
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本研究成功的以RF反應式濺鍍法來製備III族氮化物薄膜,如GaN與InGaN等薄膜,濺鍍所需要的靶材則是將不同比例的金屬In、Ga與GaN陶瓷粉末混合後熱壓而成的陶金靶,靶材中的Ga含量需小於GaN…